PENGARUH KONSENTRASI Si3N4 TERHADAP MORFOLOGI LAPISAN TIPIS KOMPOSIT Ni-TiAlN/Si3N4
Achmad Fikrya), Esmar Budib), Iwan Sugihartonoc)

Program Studi Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Negeri Jakarta, Jl. Rawamangun Muka, Jakarta 13220
a)achmadfikryy[at]gmail.com, b)esmarbudi[at]unj.ac.id, c)isugihar[at]hotmail.com

Abstract

Abstrak
Pembuatan lapisan tipis komposit Ni-TiAlN/Si3N4 telah dilakukan untuk mengkaji pengaruh konsentrasi Si3N4 terhadap morfologi lapisan. Proses pelapisan menggunakan metode elektrodeposisi dengan arus sebesar 4 mA selama 15 menit. Sistem elektroda yang digunakan terdiri atas AgCl sebagai elektroda pembanding, Pt sebagai elektroda pendukung dan Tungsten Karbida sebagai elektroda kerja. Larutan elektrolit yang digunakan terdiri dari 0.17 mol/l NiCl2.6H2O, 0.38 mol/l NiSO4.6H2O, 4 g/l TiN, 4 g/l AlN, 0.49 mol/l H3BO3 dan 1.2 g/l SDS. Sementara variasi konsentrasi Si3N4 sebesar 0.2 g/l, 0.4 g/l dan 0.6 g/l. Karakterisasi morfologi lapisan menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) menunjukkan permukaan lapisan semakin kompak seiring bertambahnya konsentrasi Si3N4.
Kata-kata kunci: Lapisan tipis komposit Ni-TiAlN/Si3N4, morfologi lapisan, elektrodeposisi.

Abstract
Ni-TiAlN/Si3N4 composite film was succesfully electrodeposited to investigate Si3N4 consentration effect on composite film morphology. The composite film was electrodeposited at fixed current of 4 mA for 15 minutes. The electrode system was used AgCl as reference electrode, Pt as counter electrode and Tungsten Carbide as working electrode. The electrolyte consists of 0.17 mol/l NiCl2.6H2O, 0.38 mol/l NiSO4.6H2O, 4 g/l TiN, 4 g/l AlN, 0.49 mol/l H3BO3 and 1.2 g/l SDS. Meanwhile the variation of Si3N4 concentration is 0.2 g/l, 0.4 g/l, and 0.6 g/l. The composite film morphology was characterized by using Scanning Electron Microscopy (SEM). The results showed that composite film morphology was finer as increase of Si3N4 concentration.
Keywords: Ni-TiAlN/Si3N4 composite film, surface morphology, electrodeposition.

Topic: PHYS2 Material Physics

PermaLink: http://snf2018.interconf.org/kfz/pages/abstract.php?id=9